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湖南頂立科技股份有限公司
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碳化硅燒結(jié)爐（臥式）
產(chǎn)品描述：
主要用于半導體領域的碳化硅陶瓷制品的真空燒結(jié)、氣氛燒結(jié)。
應用范圍：
碳化硅陶瓷平臺、導軌、方鏡、反射鏡、晶舟、槳、爐管、吸盤、卡盤、機械臂、聚焦環(huán)、刻蝕環(huán)、流化床反應容器等
可采用多溫區(qū)獨立控溫，溫度均勻性好；
采用頂立科技專屬超高溫、大電流引電技術(shù)，能在高溫條件下長時間使用；
采用特殊的高溫紅外測量技術(shù)，控溫準確，誤差??；
全密閉馬弗，密封效果好，抗污染能力強；
多級高效尾氣處理系統(tǒng)，環(huán)境友好，易清理；
可選配脫脂系統(tǒng)，實現(xiàn)陶瓷制品的脫脂燒結(jié)一次性處理；
適于工藝氣氛：N2/Ar。
| 參數(shù)\型號 | HSC-050511 | HSC-100612 | HSC-101015 | H(D)SC-101050 |
| 工作區(qū)尺寸 W×H×L（mm） | 500×500×1100 | 1000×600×1200 | 1000×1000×1500 | 1000×1000×5000 |
| **溫度（℃） | 1500-2400 | 1500-2400 | 1500-2400 | 1500-2400 |
| 溫度均勻性（℃） | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準。
結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動/自動
爐殼材質(zhì)：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì)：碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質(zhì)：等靜壓石墨/CFC/陶瓷
熱電偶：K/N/C/S分度號
紅外儀：單比色/雙比色
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企業(yè)名稱
湖南頂立科技股份有限公司企業(yè)類型
其他股份有限公司(非上市)信用代碼
91430100788042096T法人代表
戴煜注冊地址
中國（湖南）自由貿(mào)易試驗區(qū)長沙片區(qū)星沙產(chǎn)業(yè)基地（長龍街道）涼塘東路1271號成立日期
2006-05-25注冊資本
3989.2752萬人民幣有效期限
2006-05-25 至 無固定期限
經(jīng)營范圍
許可項目：第二類醫(yī)療器械生產(chǎn)；第三類醫(yī)療器械生產(chǎn)；第三類醫(yī)療器械經(jīng)營（依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動，具體經(jīng)營項目以相關部門批準文件或許可證件為準）一般項目：新材料技術(shù)研發(fā)；新材料技術(shù)推廣服務；技術(shù)服務、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣；工業(yè)設計服務；3D打印服務；3D打印基礎材料銷售；增材制造；石墨及碳素制品制造；石墨及碳素制品銷售；合成材料制造（不含危險化學品）；高性能纖維及復合材料制造；高性能纖維及復合材料銷售；金屬材料制造；非金屬礦物制品制造；非金屬礦及制品銷售；金屬基復合材料和陶瓷基復合材料銷售；鍛件及粉末冶金制品制造；鍛件及粉末冶金制品銷售；金屬表面處理及熱處理加工；機械電氣設備制造；機械設備研發(fā)；機械設備銷售；機械設備租賃；專用設備制造（不含許可類專業(yè)設備制造）；冶金專用設備制造；冶金專用設備銷售；環(huán)境保護專用設備制造；環(huán)境保護專用設備銷售；泵及真空設備制造；泵及真空設備銷售；智能基礎制造裝備制造；智能基礎制造裝備銷售；烘爐、熔爐及電爐制造；烘爐、熔爐及電爐銷售；增材制造裝備制造；增材制造裝備銷售；非居住房地產(chǎn)租賃；貨物進出口；技術(shù)進出口；第二類醫(yī)療器械銷售（除依法須經(jīng)批準的項目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動）。
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