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鈣鈦礦材料因其優(yōu)異的光電性能成為太陽能光伏領域的研究熱點，但易揮發(fā)有機組分（如甲基碘化銨MAI）的沉積難題長期制約其產業(yè)化進程。針對這一技術瓶頸，PEROvap真空鍍膜系統(tǒng)應運而生，通過創(chuàng)新設計為科研與生產提供穩(wěn)定可控的沉積環(huán)境。

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突破傳統(tǒng)工藝限制

傳統(tǒng)真空沉積工藝在鈣鈦礦材料處理中面臨顯著挑戰(zhàn)：甲基碘化銨MAI等鈣鈦礦材料即使在常溫下也易二次揮發(fā)，導致薄膜均勻性差、器件性能參差不齊。PEROvap通過專利環(huán)境控制技術，在沉積過程中精確調控溫度與真空度，抑制材料的非預期再蒸發(fā)，確保薄膜成分與結構的穩(wěn)定性和均勻性。

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核心技術優(yōu)勢

• 擁有專利技術的超低溫蒸發(fā)源ULT

• 最多可配置8個蒸發(fā)源 (可實現(xiàn)共蒸)

• 適配M12硅片（210×210mm2）及定制化大尺寸基底

• 高穩(wěn)定性 & 高重復性 & 高均勻性

• 可集成于手套箱（O?/H?O＜1ppm）

• 自動化兼容接口（機械臂/集群系統(tǒng)）

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推動產業(yè)化進程

憑借MBRAUN先進的工程設計經驗和在真空沉積技術領域的深厚積累，PEROvap為研究人員提供了精準可靠的鈣鈦礦材料沉積解決方案。憑借專利級環(huán)境控制技術，攻克鈣鈦礦材料易二次揮發(fā)、成膜不均等行業(yè)痛點。通過簡化操作流程、提升工藝容錯率，顯著降低鈣鈦礦器件開發(fā)門檻。無論是實驗室級樣品制備還是中試產線驗證，該系統(tǒng)均能提供可靠的數(shù)據支持和生產過渡方案。

以下為一些應用案例：