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用于XRF的低噪聲的內(nèi)置場(chǎng)效應(yīng)管的半導(dǎo)體核輻射探測(cè)器
江蘇天瑞儀器股份有限公司 2023-08-23 點(diǎn)擊385次
江蘇天瑞儀器股份有限公司 2023-08-23 點(diǎn)擊385次
現(xiàn)有的核輻射探測(cè)器使用的光電二極管和場(chǎng)效應(yīng)管為兩個(gè)部件，固定在同一基板上，彼此連接采用金絲點(diǎn)焊。由于金絲有大約10mm長(zhǎng)，其分布電容大約在0.2pf左右。
本發(fā)明將光電二極管和場(chǎng)效應(yīng)管光刻在同一片硅片上，這樣場(chǎng)效應(yīng)管柵極和光電二極管之間幾乎是直接相連，大大降低分布電容，其分布電容大約在0.01~0.02pf。因此該系統(tǒng)因分布電容產(chǎn)生的噪聲遠(yuǎn)小于現(xiàn)有的核輻射探測(cè)器。