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INFOVION公司是韓國(guó)專業(yè)生產(chǎn)真空蒸鍍?yōu)R射設(shè)備的廠家，其產(chǎn)品精度高、穩(wěn)定性好，具有高性價(jià)比，并成功引入微電子所等中國(guó)企業(yè)，得到用戶的廣泛認(rèn)可。
工藝腔:9個(gè)有機(jī)分子源，單片玻璃尺寸(100*100mm/0.5~0.7t)，優(yōu)良的均勻性(≤±3%),可有效控制沉積速率，精確襯底對(duì)準(zhǔn)銷對(duì)準(zhǔn)，過(guò)渡艙模塊，機(jī)械警真空轉(zhuǎn)移試樣:
手套箱:單工位，內(nèi)含旋轉(zhuǎn)涂膜和UV固化:
控制系統(tǒng):菜單式操作、數(shù)據(jù)記錄、參數(shù)設(shè)置，全OLED蒸鍍?cè)O(shè)備OLED蒸鍍?cè)O(shè)備OLED蒸鍍?cè)O(shè)備自動(dòng)電腦控制，帶互鎖。
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