參考價(jià)格
面議型號(hào)
EM82品牌
kyky產(chǎn)地
北京樣本
暫無加速電壓:
0.2kV-30kV電子槍:
Schottky 肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍電子光學(xué)放大:
光學(xué)放大 1x-100x光學(xué)放大:
1x-3000000x分辨率:
0.8nm@15kv、1.5nm@1kv探測(cè)器:
·高真空二次電子探測(cè)器;*Inlens探測(cè)器;紅外CCD攝像頭;半導(dǎo)體四分割背散射探測(cè)器濃;看了EM82系列超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的用戶又看了
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KYKY-EM82系列超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介
KYKY-EM8200超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,采用全新電子光學(xué)設(shè)計(jì),基于減速樣品臺(tái)、新一代低像差物鏡、Inlens探測(cè)器等技術(shù),集成豐富的圖像處理功能,為新能源、半導(dǎo)體等用戶提供全新解決方案。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
1、高分辨電子光學(xué)系統(tǒng)
l 新一代低像差物鏡
l 減速樣品臺(tái)
l 低壓高分辨成像
2、高效便捷的用戶體驗(yàn)
l 全新用戶界面設(shè)計(jì)
l 豐富的軟件測(cè)量功能
l 光學(xué)導(dǎo)航
l 著陸束流檢測(cè)
3、高性能信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)
l 低噪聲Inlens探測(cè)器
l 自動(dòng)推入式背散射探測(cè)器
l 豐富的探測(cè)器擴(kuò)展接口
三、技術(shù)參數(shù)
四、產(chǎn)品功能
1、二次電子探測(cè)器
高信噪比,高帶寬 · 大景深,表征樣品表面形貌結(jié)構(gòu)
2、不同探測(cè)器同時(shí)成像
· 顯示SE,BSE 雙通道圖像
· 可任意設(shè)置不同探
· BSE探測(cè)器,反應(yīng)樣品表面的成分特征
3、陰極熒光成像
4 大圖拼接
· 樣品區(qū)全域視場(chǎng)矩陣自動(dòng)規(guī)劃,拍照流程無需人工干預(yù)
· 百千張級(jí)數(shù)據(jù)量快速拼接實(shí)時(shí)預(yù)覽,構(gòu)建全域清晰掃描大圖
5 粒度分析
采用深度學(xué)習(xí)的復(fù)合圖像處理算法,自動(dòng)識(shí)別比例尺,精準(zhǔn)識(shí)別圖像中的顆粒,多種形態(tài)參數(shù)的統(tǒng)計(jì)與導(dǎo)出,
摻鋁碳酸鈷
多種形態(tài)參數(shù)結(jié)果
多種形態(tài)數(shù)據(jù)輸出
6 關(guān)鍵尺寸測(cè)量
具備距離,角度,水平線/垂直線/圓徑測(cè)算等,豐富的圖像測(cè)量功能
五、定制能力
1、電子束曝光(EBL)
l 功能:基于掃描電鏡的電子束曝光系統(tǒng)(EBL),能夠精確地控制電子束的掃描路徑和能量沉積,從而實(shí)現(xiàn)高分辨率的圖形曝光。該系統(tǒng)采用先進(jìn)的電子束掃描控制技術(shù),支持靈活多樣的圖案設(shè)計(jì)和精確控制,不僅具有電子束曝光功能,還保留了原SEM 的觀測(cè)功能,這使得用戶可以在同一臺(tái)設(shè)備上完成樣品的觀測(cè)和加工,提高了工作效率和便利性。
l 參數(shù):*小束斑 優(yōu)于5nm; 探針電流 1pA~20nA; 線寬 優(yōu)于15nm
l 應(yīng)用場(chǎng)景
科研教學(xué)、微電子制造、原型器件開發(fā)、納米材料制備、生物醫(yī)療研究
l 應(yīng)用案例
二維周期陣列結(jié)構(gòu)加工
50nm線寬/周期200nm光柵結(jié)構(gòu)
60nm直徑點(diǎn)陣周期結(jié)構(gòu)
聲表面波碳納米管諧振器耦合器件
場(chǎng)效應(yīng)晶體管電極
2、真空互聯(lián)
真空互聯(lián)掃描電鏡用于對(duì)樣品車傳遞過來的產(chǎn)品進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè),分析其表面晶粒形態(tài)大小分布等信息,評(píng)估其薄膜的膜質(zhì)量情況。
真空互聯(lián)系統(tǒng)可以在真空狀態(tài)下對(duì)樣品進(jìn)行預(yù)處理,并傳遞到掃描電鏡內(nèi)進(jìn)行觀測(cè).
自動(dòng)檢測(cè)和反饋系統(tǒng),對(duì)樣品標(biāo)簽、位置狀態(tài)、樣品交接進(jìn)行監(jiān)控和記錄,可以清晰的了解樣品傳輸狀況。
3、激光聯(lián)用-超快電鏡
l 功能:
超快電鏡利用激光、電場(chǎng)等外界刺激使樣品達(dá)到激發(fā)態(tài)。使用時(shí)間延遲可調(diào)的另一束激光作用于電鏡燈絲,產(chǎn)生脈沖電子束照射于樣品表面進(jìn)而收集表面逸出的二次電子對(duì)激發(fā)瞬態(tài)進(jìn)行表征。
l 掃描電鏡電子槍及發(fā)射陰極改造
改造后的電子槍
(1)激光入口 ;
(2)探測(cè)激光引入示意圖,與電子束方向呈一定角度夾角;
(3)從激光入射口可見陰極工作時(shí)的發(fā)射狀態(tài)。
l 應(yīng)用領(lǐng)域
超快結(jié)構(gòu)動(dòng)力學(xué),新型光場(chǎng)隱含物態(tài)調(diào)控、自由電子量子光學(xué)等。
產(chǎn)品特點(diǎn):
◆分辨率高,成像質(zhì)量好
◆具有高、低真空功能,使用渦輪分子泵及壓差光欄使低真空壓力于10Pa- -650Pa內(nèi)可調(diào)
◆K型預(yù)對(duì)中鎢燈絲陰極,更換燈絲方便
◆五軸全自動(dòng)優(yōu)中心樣品臺(tái)◆中英文操作界面,具有一-鍵看像功能
◆圖像模式:分辨率模式、景深模式、分析模式、魚眼Live模式、混合像模式
◆自動(dòng)功能:電子槍自動(dòng)加熱啟動(dòng),自動(dòng)電對(duì)中,自動(dòng)自給偏壓調(diào)整,鏡筒電子光學(xué)參數(shù)自動(dòng)控制: 自動(dòng)亮度,自動(dòng)對(duì)比度,磁滯校準(zhǔn),自動(dòng)聚焦,聚焦自動(dòng)補(bǔ)償,動(dòng)態(tài)聚焦,混合像,自動(dòng)消像 散,掃描旋轉(zhuǎn),傾向補(bǔ)償,圖像銳化,圖像居中。
7月15日,由中科科儀聯(lián)合《真空》雜志、北京真空學(xué)會(huì)共同主辦的“國(guó)產(chǎn)替代·創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)——真空技術(shù)助力科學(xué)儀器行業(yè)發(fā)展”直播講座暨地區(qū)用戶會(huì)在北京舉行。本次活動(dòng)匯聚科研院所、高等院校、產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)代表
7月14日,中科科儀召開2025年上半年部門負(fù)責(zé)人述職考評(píng)會(huì)。公司黨委書記、董事長(zhǎng)張勇出席會(huì)議并講話,副總經(jīng)理(主持工作)李賞主持會(huì)議并做總結(jié),公司領(lǐng)導(dǎo)、中層管理干部參加會(huì)議。會(huì)議堅(jiān)持目標(biāo)導(dǎo)向,各部門
當(dāng)前,在關(guān)鍵核心技術(shù)自主可控的國(guó)家戰(zhàn)略背景下,真空零部件作為科學(xué)儀器的"隱形心臟",其國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程直接關(guān)系到質(zhì)譜儀、電鏡、能譜儀、波譜儀等高端分析設(shè)備的"卡脖子"
KYKY 掃描電子顯微鏡在粉末冶金領(lǐng)域的應(yīng)用 北京中科科儀股份有限公司前身為中國(guó)科學(xué)院北京科學(xué)儀器研制中心,始建于 1958 年。 中科科儀研制生產(chǎn)多系列電子顯微鏡,依托五十余年的電子光學(xué)技術(shù)積累