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桌面單點測量
低成本的臺式少子壽命測量系統(tǒng)，對不同制備階段的硅材料電學(xué)參數(shù)進行表征。沒有內(nèi)置自動化。可選配手動z軸，用于厚度在156毫米以下的晶錠。
MDPspot可配電阻率測試選項。僅適用于硅，用于晶圓片，也可用于晶錠。
結(jié)果可視化的標(biāo)準(zhǔn)軟件。
無接觸和非破壞的電學(xué)參數(shù)測試
對外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測，具有可視化測試的**分辨率
對于不同級別晶圓片，提供不同的菜單選項
體積小，成本低，使用方便。擁有一個基本的軟件，結(jié)果可視化。
適用于晶圓片到晶錠，易于高度調(diào)整。
暫無數(shù)據(jù)！
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