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Filmetrics F54 光學(xué)膜厚測量儀測厚儀

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桌面型膜厚測量儀的全球***

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自動(dòng)化薄膜厚度分布圖案系統(tǒng)

依靠 F54 先進(jìn)的光譜測量系統(tǒng)，可以很簡單快速地獲得**直徑 450 毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用 r-θ 極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)，可以非?？焖俚亩ㄎ凰铚y試的點(diǎn)并測試厚度，測試非?？焖?，大約每秒能測試兩點(diǎn)。 系統(tǒng)中預(yù)設(shè)了許多極坐標(biāo)形、方形和線性的圖形模式，也可以編輯自己需要的測試點(diǎn)。只需掌握基本電腦技術(shù)便可在幾分鐘內(nèi)建立自己需要的圖形模式。

可測樣品膜層

基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測量?？蓽y樣品包括：

相關(guān)應(yīng)用

半導(dǎo)體制造

光刻膠 氧化物/氮化物/SOI 晶圓研磨減薄/封裝

液晶顯示器

盒厚 聚酰亞胺 ITO

光學(xué)鍍膜

硬涂層 抗反射涂層 濾光片

微電子

光刻膠 硅膜 氧化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡

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