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技術參數(shù)：
輸入電壓 | AC220V±10%，50Hz |
工作電壓 | DC2400V |
**功率（主機與機械泵） | 500W |
| 工作原理 | 直流濺射 |
可選靶材 | 金、鉑、銀、銅、鋁、鉛等常用金屬 |
真空泵 | 兩級直聯(lián)旋片式真空泵 1L/s |
真空腔 | φ128×130mm |
樣品杯 | φ90×1 / φ25×4 / φ15×6 |
整機尺寸（長×寬×高） | 424×271×255（mm） |
重量（主機） | 11 kg |
工作環(huán)境 | 溫度 5～40℃，濕度<60% |
存儲環(huán)境 | 溫度-10~60℃，濕度<80% |
工作氣體 | Air / Ar |
保護功能 | 過流、真空雙保護 |
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