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EM81系列超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡
EM81系列超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

EM81

品牌

kyky

產(chǎn)地

北京

樣本

暫無
北京中科科儀股份有限公司

高級(jí)會(huì)員

|

第8年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

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核心參數(shù)
  • 探測器:

    高真空二次電子探測器
  • 加速電壓:

    02kv-30kV
  • 電子槍:

    Schottky 肖特基場發(fā)射電子槍
  • 電子光學(xué)放大:

    光學(xué)放大1x-100x
  • 光學(xué)放大:

    1x-3000000x
  • 分辨率:

    SE 0.9nm@30kv: 3nm@1kV
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KYKY-EM81系列超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

一、產(chǎn)品簡介

KYKY-EM8100高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡,采用鏡筒加速技術(shù)、低像差錐形物鏡等全新電子光學(xué)設(shè)計(jì),能夠在低電壓下實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)的成像效果,對各類材料具有廣泛的適用性,能夠滿足多種科研和工業(yè)領(lǐng)域的測試需求。

 

01.png 

 

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

亞納米級(jí)分辨率

低像差錐形物鏡

大束流

自動(dòng)化控制系統(tǒng)

超大樣品倉

鏡筒加速技術(shù)


三、技術(shù)參數(shù)

02.png 

 

 

四、產(chǎn)品功能

1、二次電子探測器

高信噪比,高帶寬 · 大景深,表征樣品表面形貌結(jié)構(gòu)

 

2、不同探測器同時(shí)成像

· 顯示SE,BSE 雙通道圖像

· 可任意設(shè)置不同探

05.png 

· BSE探測器,反應(yīng)樣品表面的成分特征

06.png 

3、陰極熒光成像

 

4 大圖拼接

· 樣品區(qū)全域視場矩陣自動(dòng)規(guī)劃,拍照流程無需人工干預(yù)

· 百千張級(jí)數(shù)據(jù)量快速拼接實(shí)時(shí)預(yù)覽,構(gòu)建全域清晰掃描大圖

圖片3.png 

 

5 粒度分析

采用深度學(xué)習(xí)的復(fù)合圖像處理算法,自動(dòng)識(shí)別比例尺,精準(zhǔn)識(shí)別圖像中的顆粒,多種形態(tài)參數(shù)的統(tǒng)計(jì)與導(dǎo)出,

圖片4.png 

摻鋁碳酸鈷

圖片5.png 

多種形態(tài)參數(shù)結(jié)果

圖片6.png 

多種形態(tài)數(shù)據(jù)輸出

 

6 關(guān)鍵尺寸測量

具備距離,角度,水平線/垂直線/圓徑測算等,豐富的圖像測量功能

圖片7.png 

 

五、定制能力

1、電子束曝光(EBL

功能:基于掃描電鏡的電子束曝光系統(tǒng)(EBL),能夠精確地控制電子束的掃描路徑和能量沉積,從而實(shí)現(xiàn)高分辨率的圖形曝光。該系統(tǒng)采用先進(jìn)的電子束掃描控制技術(shù),支持靈活多樣的圖案設(shè)計(jì)和精確控制,不僅具有電子束曝光功能,還保留了原SEM 的觀測功能,這使得用戶可以在同一臺(tái)設(shè)備上完成樣品的觀測和加工,提高了工作效率和便利性。

參數(shù):*小束斑 優(yōu)于5nm;  探針電流 1pA~20nA;  線寬 優(yōu)于15nm

應(yīng)用場景

科研教學(xué)、微電子制造、原型器件開發(fā)、納米材料制備、生物醫(yī)療研究

應(yīng)用案例

二維周期陣列結(jié)構(gòu)加工

50nm線寬/周期200nm光柵結(jié)構(gòu)

圖片8.png 

60nm直徑點(diǎn)陣周期結(jié)構(gòu)

圖片9.png 

 

聲表面波碳納米管諧振器耦合器件

圖片10.png 

 


場效應(yīng)晶體管電極

圖片11.png 

 

2、真空互聯(lián)

真空互聯(lián)掃描電鏡用于對樣品車傳遞過來的產(chǎn)品進(jìn)行自動(dòng)檢測,分析其表面晶粒形態(tài)大小分布等信息,評估其薄膜的膜質(zhì)量情況。

真空互聯(lián)系統(tǒng)可以在真空狀態(tài)下對樣品進(jìn)行預(yù)處理,并傳遞到掃描電鏡內(nèi)進(jìn)行觀測.

自動(dòng)檢測和反饋系統(tǒng),對樣品標(biāo)簽、位置狀態(tài)、樣品交接進(jìn)行監(jiān)控和記錄,可以清晰的了解樣品傳輸狀況。

圖片12.png 

3、激光聯(lián)用-超快電鏡

功能:

超快電鏡利用激光、電場等外界刺激使樣品達(dá)到激發(fā)態(tài)。使用時(shí)間延遲可調(diào)的另一束激光作用于電鏡燈絲,產(chǎn)生脈沖電子束照射于樣品表面進(jìn)而收集表面逸出的二次電子對激發(fā)瞬態(tài)進(jìn)行表征。

 

掃描電鏡電子槍及發(fā)射陰極改造

改造后的電子槍 

1)激光入口 ;

2)探測激光引入示意圖,與電子束方向呈一定角度夾角;

3)從激光入射口可見陰極工作時(shí)的發(fā)射狀態(tài)。

圖片13.png 

 

應(yīng)用領(lǐng)域

超快結(jié)構(gòu)動(dòng)力學(xué),新型光場隱含物態(tài)調(diào)控、自由電子量子光學(xué)等。



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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
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