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高低溫細絲爐體，硼擴磷擴工業(yè)爐主要用作半導(dǎo)體、功率器件、集成電路等行業(yè)中管式熱壁產(chǎn)品的加熱裝置?？膳c美國TEMPRESS、美國TYAN、美國THERMCO、荷蘭ASM、英國BTU、日本TEL等國外多種型號擴散爐配套（替代進口），采用的加工工藝，選用進口材料，制作而成。可用于2-8英寸硅片的擴散工藝。
爐體為擴散爐提供熱能源。高溫細絲爐體低溫，磷擴硼擴工業(yè)爐
詳細介紹
高低溫細絲爐體，硼擴磷擴工業(yè)爐主要用作半導(dǎo)體、功率器件、集成電路等行業(yè)中管式熱壁產(chǎn)品的加熱裝置。可與美國TEMPRESS、美國TYAN、美國THERMCO、荷蘭ASM、英國BTU、日本TEL等國外多種型號擴散爐配套（替代進口），采用guo外xian進的加工工藝，選用進口材料，制作而成。可用于2-8英寸硅片的擴散工藝。
爐體為擴散爐提供熱能源
高溫細絲爐體低溫，磷擴硼擴工業(yè)爐擴散爐主要用途是在高溫條件下對半導(dǎo)體晶圓進行摻雜，即將元素磷、硼擴散入硅片，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域。
同時還會在硅片表面生長一層二氧化硅膜，起到保護硅晶體的作用。而高溫細絲爐體低溫，磷擴硼擴工業(yè)爐爐體作為擴散爐溫區(qū)控制核心部件，在爐體運行中起到至關(guān)重要的作用。
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爐體為擴散爐提供熱能源
高溫細絲爐體低溫，磷擴硼擴工業(yè)爐擴散爐主要用途是在高溫條件下對半導(dǎo)體晶圓進行摻雜，即將元素磷、硼擴散入硅片，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域。
同時還會在硅片表面生長一層二氧化硅膜，起到保護硅晶體的作用。而高溫細絲爐體低溫，磷擴硼擴工業(yè)爐爐體作為擴散爐溫區(qū)控制核心部件，在爐體運行中起到至關(guān)重要的作用。
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