非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
氧氣溫控精度：
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一、設備概述：
臥式退火爐設備可應用于集成電路、分立器件、 POWER、 MEMS等多種領域，適用于4-8英寸晶圓芯片的氧化、擴散、GPP、退火、合金等工藝。
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