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PVT碳化硅長(zhǎng)晶爐品牌
產(chǎn)地
上海樣本
暫無(wú)溫控精度：
-最高溫度：
-額定溫度：
-非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
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采用感應(yīng)加熱方式，在石英管/不銹鋼腔體內(nèi)以物理氣相傳輸法（PVT）生長(zhǎng)高純SiC晶體。
性能優(yōu)勢(shì)
下進(jìn)料方式，利于實(shí)現(xiàn)工廠自動(dòng)化。
熱場(chǎng)旋轉(zhuǎn)，升降式線圈，用于調(diào)整溫度場(chǎng)。
自主研發(fā)異地網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程監(jiān)控操作系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)晶過(guò)程的全自動(dòng)控制；
分級(jí)權(quán)限，便于工藝參數(shù)管理；
遠(yuǎn)程 控制，實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守。
溫度、壓力控制的穩(wěn)定性；重復(fù)定位的準(zhǔn)確性；快速抽空及長(zhǎng)時(shí)間真空保壓。
布局緊湊合理，整機(jī)呈框架式結(jié)構(gòu)，將電控箱、加熱電源巧妙集成于一體。
電動(dòng)升降上下料，托盤(pán)降至*低位置后可水平移出，電動(dòng)升降爐蓋，省時(shí)省力，安全可靠。
配置兩路真空系統(tǒng)，高精度用于晶體生長(zhǎng)的壓力控制，普通精度用于抽真空。
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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