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Mars 4410/Mars 4420品牌
中電科風(fēng)華產(chǎn)地
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產(chǎn)品描述：應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體襯底片、外延片的全自動(dòng)缺陷檢測，并可兼容藍(lán)寶石、LED的缺陷檢測。設(shè)備采用明場微分干涉相差、暗場散射、光致發(fā)光等多種檢測手段。具有多通道同步單次檢測，低噪聲和高分辨率成像、高檢測通量和高檢出率等優(yōu)勢。
產(chǎn)品參數(shù)：
應(yīng)用范圍：SiC、GaN等化合物半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測
可測晶片尺寸：4,6,8英寸及其它非標(biāo)尺寸
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