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Vortex 批次式濕法設(shè)備品牌
正陽工業(yè)產(chǎn)地
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技術(shù)特點：● 自動運行，干進干出 ● 設(shè)備占地面積小 ● 去離子水減少高達80% ● 工藝介質(zhì)減少高達80% ● 封閉式系統(tǒng) ● 可柔性多腔室組合 | 設(shè)備用途：● 顯像工藝 ● 刻蝕工藝 ● 清洗工藝 ● 剝離工藝 ● 可選配O3清洗 |
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