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晶圓邊緣檢測設(shè)備-EDI品牌
芯暉裝備產(chǎn)地
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| 產(chǎn)品型號 | 晶圓邊緣檢測設(shè)備-EDI |
| 應(yīng)用場景 | 成型、拋光 |
| 檢測缺陷 | 崩邊、裂紋、劃傷等邊緣缺陷 |
| 檢測精度 | 邊緣：1.25μm |
| 產(chǎn)能 | 85 WPH@300mm |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | 缺陷分布、不良分類、ADC |
| 晶圓直徑 | Ф6″、Ф8″、Ф12″（尺寸可定制） |
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