推薦MXene晶圓級光電探測器取得新進展

中國粉體網(wǎng)訊 二維過渡金屬碳化物和氮化物MXene被公認為在電子和光電器件中具有重要應用潛力。然而，已報道的MXene薄膜的圖案化方法難以兼顧效率、分辨率和與主流硅工藝的兼容性。例如，電子束光刻法可以實現(xiàn)較高的圖案分辨率，但[更多]