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靜電卡盤

推薦該企業(yè)申請一項氧化鋁陶瓷靜電卡盤相關專利

中國粉體網訊 近日，國家知識產權局信息顯示，東莞信柏結構陶瓷股份有限公司申請一項名為“陶瓷及其制備方法、靜電卡盤”的專利，公布號CN120157460A。在先進的大規(guī)模集成電路制造過程中有著幾百種工藝步驟，圓片需要在多達幾百[更多]

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