推薦中科院自主研制新型紫外納米壓印光刻機 有望提升我國微納級制造業(yè)能力

中國粉體網(wǎng)訊 記者日前從中科院光電技術研究所獲悉，該所微電子專用設備研發(fā)團隊已自主研制出一種新型紫外納米壓印光刻機，其成本僅為國外同類設備1/3，將有力推進我國芯片加工等微納級結(jié)構(gòu)器件制造水平邁上新的臺階。　　光刻機是微納[更多]