中國粉體網(wǎng)訊 2025年7月18日，氫基新能科技集團與主投方上海卓遠方德半導體有限公司聯(lián)合投資的集成電路新材料第四代半導體MPCVD金剛石材料及高端晶圓生產(chǎn)基地項目正式動土建設(shè)。相關(guān)政府部門領(lǐng)導、集團領(lǐng)導、合作伙伴代表、施工單位代表等齊聚一堂，共同見證這一重要時刻。
圖源：氫基新能科技官微
半導體項目將引進先進的MPCVD金剛石材料生產(chǎn)線、12英寸電子級大晶圓材料生產(chǎn)線等高端智能制造設(shè)備，通過融入智能化制造、智慧化管理，打造全新智能化綠色半導體材料生產(chǎn)企業(yè)。項目總投資約30億元，全部建成后，預(yù)計達到年產(chǎn)480萬片的產(chǎn)能規(guī)模。項目主要建設(shè)行政研發(fā)樓、切磨拋車間、長晶車間、金剛石車間等內(nèi)容，計劃總建筑面積約16.5萬平方米。項目長晶設(shè)備均實現(xiàn)國產(chǎn)化，解決了大尺寸晶體設(shè)備進口難和進口貴的問題。項目的實施，不僅將有力填補區(qū)域在半導體領(lǐng)域的空白，完善相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈條，更能帶動上下游產(chǎn)業(yè)集聚發(fā)展，提升區(qū)域的整體競爭力和影響力。
圖源：氫基新能科技官微
金剛石晶圓
金剛石晶圓是一種以金剛石為主要材料制成的晶圓，它是一種薄圓形的片狀晶體，具有高熱導率、高載流子遷移率、寬禁帶寬度等優(yōu)點，其在半導體芯片襯底、高頻功率器件等方面的應(yīng)用潛力大。此次項目直接切入半導體產(chǎn)業(yè)鏈上游核心材料環(huán)節(jié)，顯著提升產(chǎn)業(yè)鏈完整度與韌性。作為半導體產(chǎn)業(yè)鏈的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，晶圓材料生產(chǎn)能力的建立將改變區(qū)域依賴外部供應(yīng)的局面。
單晶金剛石晶圓實物，圖源：人工晶體學報
企業(yè)介紹
上海卓遠方德半導體有限公司是國內(nèi)以創(chuàng)新開發(fā)為主的第三代半導體高科技企業(yè)，專注于半導體晶體裝備及其材料的研發(fā)生產(chǎn)，在大尺寸金剛石單晶研發(fā)等方面取得了顯著成果。12英寸晶圓生產(chǎn)基地項目，是上海卓遠戰(zhàn)略發(fā)展投資建設(shè)的重點項目。
回溯至今年3月17日，該項目已以“上海卓遠12英寸晶圓生產(chǎn)基地之名”舉行了開工奠基儀式，并獲得當?shù)卣母叨戎匾�。上海卓遠方德半導體有限公司董事長張新峰在開工儀式上表示：“沈撫示范區(qū)擁有良好的生態(tài)環(huán)境、優(yōu)越的區(qū)位交通和完善的產(chǎn)業(yè)配套，具備最佳的服務(wù)和政策環(huán)境，是真正的投資熱土�！睆埿路迕鞔_表達了企業(yè)扎根于此、深耕半導體晶圓材料市場、整合尖端研發(fā)資源，將項目“做大做優(yōu)做強”的決心。
參考來源：氫基新能科技、DT半導體、遼寧省沈撫改革創(chuàng)新示范區(qū)管委會
（中國粉體網(wǎng)編輯整理/石語）
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