中國(guó)粉體網(wǎng)訊  2025年8月6日，在太原市科技局指導(dǎo)下，太原技術(shù)轉(zhuǎn)移促進(jìn)中心、國(guó)投晉創(chuàng)谷發(fā)展運(yùn)營(yíng)有限公司、中北高新區(qū)技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)改革創(chuàng)新部、太原市尖草坪區(qū)科學(xué)技術(shù)局聯(lián)合舉辦企業(yè)科技成果路演活動(dòng)。碳方程半導(dǎo)體設(shè)備制造（山西）有限公司進(jìn)行了科技成果路演。

圖源：太原科技

碳方程半導(dǎo)體此次路演的核心是“超大尺寸金剛石半導(dǎo)體材料生長(zhǎng)設(shè)備”。該設(shè)備堪稱半導(dǎo)體材料生長(zhǎng)的“精密搖籃”，通過(guò)一系列技術(shù)創(chuàng)新攻克了行業(yè)關(guān)鍵難題。此項(xiàng)設(shè)備采用雙微波、四微波的矩陣平行輸入方式，微波等離子體呈“矩陣均勻分布”，通過(guò)對(duì)稱微波源輸入，多條并行石英管饋入，形成“平行矩陣”均勻饋入；根據(jù)電磁場(chǎng)場(chǎng)強(qiáng)值，決定饋入管間距，通過(guò)“強(qiáng)-（弱+弱）-強(qiáng)”邏輯實(shí)現(xiàn)電磁場(chǎng)“堆疊”；解決了反應(yīng)區(qū)電磁場(chǎng)的均勻分布、等離子密度一致性，實(shí)現(xiàn)沉積臺(tái)溫場(chǎng)一致。

圖源：太原科技

碳方程半導(dǎo)體設(shè)備制造（山西）有限公司，主要從事第三、四代半導(dǎo)體材料專用設(shè)備的研發(fā)與制造，其核心業(yè)務(wù)為金剛石半導(dǎo)體材料MPCVD長(zhǎng)晶設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)，在此基礎(chǔ)上縱向重點(diǎn)拓展金剛石大尺寸材料的加工工藝、相關(guān)核心裝備的配套，旨在實(shí)現(xiàn)核心設(shè)備的自主化與產(chǎn)業(yè)化。

圖源：碳方程半導(dǎo)體官網(wǎng)

此次路演，碳方程半導(dǎo)體提出，企業(yè)計(jì)劃擬通過(guò)金融貸款或股權(quán)融資1000萬(wàn)。資金用于研發(fā)投入、擴(kuò)產(chǎn)、市場(chǎng)拓展和運(yùn)營(yíng)。依托山西在裝備制造領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)與“晉創(chuàng)谷”的創(chuàng)新生態(tài)，碳方程半導(dǎo)體已構(gòu)建起“三地協(xié)同”的研發(fā)與生產(chǎn)體系。其中，山西太原裝備生產(chǎn)基地承擔(dān)核心設(shè)備的制造與組裝任務(wù)，憑借本地完善的工業(yè)配套與技術(shù)工人儲(chǔ)備，確保設(shè)備生產(chǎn)的精度與效率；山西長(zhǎng)治工藝研究重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室則聚焦金剛石材料生長(zhǎng)工藝優(yōu)化，為設(shè)備性能迭代提供工藝驗(yàn)證支持；深圳研發(fā)實(shí)驗(yàn)室則專注前沿技術(shù)研發(fā)，保持核心技術(shù)的領(lǐng)先性。

這種“研發(fā)在前沿、制造在山西、工藝在本地優(yōu)化”的布局，不僅讓企業(yè)扎根山西科創(chuàng)土壤，更充分整合了多地創(chuàng)新資源，為技術(shù)快速迭代與產(chǎn)業(yè)化落地奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。目前，企業(yè)已在金剛石半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域積累了多項(xiàng)核心技術(shù)，成為山西半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的重要力量。未來(lái)，企業(yè)致力成為國(guó)產(chǎn)金剛石半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的頭部企業(yè)，助力中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主化。

參考來(lái)源：太原科技、山西科技報(bào)新媒體、碳方程

（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/石語(yǔ)）

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