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關于潔凈室烘箱是否要加HEPA（High Efficiency Particulate Air）過濾系統(tǒng)一直是個熱議的話題。為了說清楚這個話題，我們要了解一下什么是潔凈室烘箱，與普通烘箱有什么區(qū)別。首先潔凈室烘箱的定義是：可以在潔凈室環(huán)境內(nèi)使用的烘箱。這里強調(diào)的是潔凈室，也就是說潔凈室烘箱不能在普通環(huán)境中使用，否則達不到潔凈度的要求。而普通烘箱加配HEPA過濾系統(tǒng)后，雖然一定程度上能過濾爐膛中的顆粒，但是爐膛與保溫棉之間并不是全密閉的；裝取樣品時，空氣中的顆粒會直接接觸樣品。以下是這兩種烘箱的配置和適用場景：

普通烘箱為了保證內(nèi)部一定的潔凈度，需通過HEPA過濾系統(tǒng)凈化空氣；潔凈室烘箱直接使用潔凈室預過濾的空氣。潔凈室內(nèi)的顆粒，可以通過潔凈室內(nèi)的過濾系統(tǒng)清除。

為什么不在潔凈室烘箱上再增加一套HEPA過濾系統(tǒng)，豈不是除塵更高效？其實不然，HEPA過濾器的風阻較高（約250~400 Pa），可導致爐膛氣流速度降低，影響溫度均勻性，溫度更有可能會超溫；風機負載增大，能耗上升。HEPA過濾系統(tǒng)長時間使用后，會富集灰塵顆粒，反過來會污染潔凈室。最后HEPA耐溫通常120℃-350℃，需要更高溫度的熱處理要求，則無法使用，如：半導體器件、透鏡、鍍膜后退火工藝。

無HEPA過濾系統(tǒng)的潔凈室烘箱如何保證潔凈度呢？除了潔凈室本身的過濾系統(tǒng)外，潔凈室烘箱制造工藝與普通烘箱有很大區(qū)別，才能確保工藝環(huán)境符合潔凈標準ISO 14644-1。

關鍵性特點

o   密封性：爐門處采用硅膠密封，防止外界污染侵入。內(nèi)部保溫材料完全與爐膛和潔凈室環(huán)境隔離，密封焊接在爐體的夾層中。

o   空氣循環(huán)：搭配高效風機，確保爐膛內(nèi)部氣流均勻且無死角。風機采用全封閉無刷電機，運行時本身不產(chǎn)生塵埃和顆粒。

o   烘箱外殼涂層：光滑的環(huán)氧樹脂涂層，不會剝落。

爐膛材質(zhì)：內(nèi)腔為316L不銹鋼，表面電解拋光或鈍化處理，減少顆粒脫落。爐膛焊接處也作鈍角處理，方便清理。

只有這樣才能確保烘箱在日常使用時，設備本身不會產(chǎn)生污染潔凈室的塵埃和顆粒。至于樣品在熱處理過程中，如果有可能潛在的揮發(fā)物、顆粒，設備可選配排氣風機。連接潔凈室的廢氣排風管道。更可只把烘箱的爐門這部分安裝在潔凈室內(nèi)，烘箱的爐體部分安放在灰室內(nèi)。如下圖所示。

此次展示的卡博萊特蓋羅潔凈室烘箱型號分別是CR（最高溫度250℃）和HTCR（最高溫度600℃），爐膛有多種規(guī)格尺寸，具體可參見官網(wǎng)。

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