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高真空等離子體

高真空等離子體
  • 品牌:韞茂科技
  • 產地:福建
  • 關注度:2712
  • 型號:QBT-A
  • 報價:面議
  • 信息完整度:
核心參數(shù)
    產品介紹

    雙腔體等離子體原子層沉積系統(tǒng) QBT-T


    側面(1).jpg

    • 設備詳情:


           QBT-A 可在任意曲面,如平面、復雜三維結構、多孔基板上沉積高純度薄膜,且具有優(yōu)異的臺階覆蓋性,適用于微/納光電子器件、高品質光學和光電子薄膜的制備;此外,通過等離子體的引入,增強了前驅體物質的反應活性,適用于對溫度敏感材料和氮化物材料上的薄膜沉積。

           

          原子層沉積(Atomic layer deposition)是通過將氣相前驅體脈沖交替地通入反應腔體內并在沉積基體上化學吸附并反應而形成沉積膜的一種技術,具有自限性和自飽和。原子層沉積技術主要應用是在各種尺寸和形狀的基底上沉積高精度、無針孔、高保形的納米薄膜。 


           等離子體增強原子層沉積 (PlasmaEnhancedAtomicLayerDeposition,PEALD)是對ALD技術的擴展,通過等離子體的引入,產生大量活性自由基,增強了前驅體物質的反應活性,從而拓展了ALD對前驅源的選擇范圍和應用要求,縮短了反應周期的時間,同時也降低了對樣品沉積溫度的要求,可以實現(xiàn)低溫甚至常溫沉積,特別適合于對溫度敏感材料和柔性材料上的薄膜沉積。


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    • 高真空等離子體的操作規(guī)程有嗎?
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    工商信息

    企業(yè)名稱

    廈門韞茂科技有限公司

    企業(yè)類型

    信用代碼

    91350200MA31JEYQ4Y

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    廈門韞茂科技有限公司成立于2018年,團隊成員擁有豐富的薄膜沉積工藝及設備開發(fā)產業(yè)化經驗。公司目前已擁有各類**技術近50項,入選國家級高新技術企業(yè)及國家級專精特新“小巨人”企業(yè)。韞茂科技專注于鋰電池、光伏、Mini/Micro LED、先進光學、碳化硅、集成電路、超導材料和器件等領域薄膜沉積設備的研發(fā)與生產,目前已形成了以ALD原子層成膜系統(tǒng)、PVD物理氣相沉積系統(tǒng)、CVD 化學氣相系統(tǒng)、Epitaxy外延爐等一系列薄膜沉積設備為核心的產品矩陣。憑借在先進材料設備業(yè)

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