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▼概要
MSV-5000系列是測(cè)量紫外區(qū)域到近紅外區(qū)域廣范圍波長(zhǎng)領(lǐng)域內(nèi)的微小樣品以及微小部位的透過(guò)?反射測(cè)量的顯微分光系統(tǒng)。廣泛應(yīng)用于電子元件的透過(guò)?反射特性的評(píng)價(jià)、半導(dǎo)體的能隙測(cè)量，計(jì)測(cè)膜厚、功能性結(jié)晶光學(xué)特性評(píng)價(jià)、色彩分析等領(lǐng)域。
◆特點(diǎn)
可以測(cè)量從紫外區(qū)域到近紅外區(qū)域連續(xù)的透過(guò)?反射光譜*1 搭載具有高波長(zhǎng)分辨率和波長(zhǎng)準(zhǔn)確性的單色器 雙光束光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)異的測(cè)光穩(wěn)定性測(cè)量領(lǐng)域尺寸*小φ10μm *2樣品觀測(cè)采用高解像度照相機(jī)畫像標(biāo)配偏光測(cè)量功能
搭載自動(dòng)XYZ樣品臺(tái)（選項(xiàng)）映射測(cè)量?多點(diǎn)測(cè)量JASCO光譜管理器實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單輕松的操作環(huán)境
*1. MSV-5200/5300
*2. *小可測(cè)量尺寸根據(jù)測(cè)量條件?測(cè)量樣品而不同。
▼規(guī)格
▼MSV-5000
機(jī)種名 | MSV-5100 | MSV-5200 | MSV-5300 |
分光器部 | 車爾尼特納光學(xué)系統(tǒng)單單色器 雙光速方式 | ||
光源 | 30W氘燈、 20W鹵素?zé)?/span> | ||
測(cè)量波長(zhǎng)范圍 | 200～900nm | 200～2700nm | 200～1600nm |
檢測(cè)器 | 光電子倍增管 | 光電子倍増管、冷卻型PbS光導(dǎo)電素子 | 光電子倍増管、冷卻型InGaAs光電二級(jí)管 |
測(cè)光方式 | 透過(guò)?反射測(cè)量 | ||
觀察 | 高解像度照相機(jī)、光學(xué)放縮、內(nèi)置ATOS、照明：LED | ||
物鏡 | 対物卡塞格林鏡、10倍、16倍、32倍、可選其一 | ||
集光鏡 | 集光卡塞格林鏡、10倍、16倍、32倍、可選、集光鏡自動(dòng)調(diào)節(jié)功能 | ||
樣品臺(tái) | 手動(dòng)臺(tái)、自動(dòng)XYZ臺(tái)（選項(xiàng)）、控制桿（選項(xiàng)） | ||
軟件 | JASCO光譜管理器 Ver.2.0 | ||
対應(yīng)OS | Microsoft Windows7 Professional | ||
標(biāo)準(zhǔn)程序 | 顯微光譜測(cè)量（點(diǎn)測(cè)量、顯微畫像保存）、顯微光譜解析 | ||
自動(dòng)控制XYZ樣品臺(tái) | 樣品臺(tái)移動(dòng)、區(qū)域映射、線測(cè)量、多點(diǎn)測(cè)量、顯微固定波長(zhǎng)成像測(cè)量、自動(dòng)聚焦、多通道畫像 | ||
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