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儀器簡(jiǎn)介：

Cascade Microtech 的 EPS系列測(cè)量平臺(tái)是一款結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、高精確度、多功能、及高性價(jià)比的150mm基準(zhǔn)的探針臺(tái)，解決了一系列的測(cè)量難題。該探針臺(tái)采用了一種模塊化設(shè)計(jì)，提供了眾多的配置可能性，旨在滿足諸如單切晶片至 150mm 晶圓、模塊、印刷電路板組件和微流體芯片等多種器件的精密電測(cè)量的需要。您可以通過(guò)確定*適合自己當(dāng)前需要的 EPS模塊來(lái)設(shè)計(jì)特有的探針臺(tái)，或?qū)ψ约含F(xiàn)有的 EPS進(jìn)行升級(jí)以滿足未來(lái)的測(cè)量需求。

優(yōu)越的應(yīng)用靈活性使得EPS能滿足DC和RF測(cè)量、器件和晶圓表征測(cè)試（DWC）、失效分析（FA）、亞微米探測(cè)、MEMS和光學(xué)工程測(cè)量；EPS也能用作一個(gè)靈活的探頭卡，實(shí)現(xiàn)wafer級(jí)的可靠性應(yīng)用（WLR），能同時(shí)配備多達(dá)20個(gè)探針座。

技術(shù)參數(shù)：

基座 基本尺寸 Z軸可移動(dòng)范圍

標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái) 490mm x 490mm×480mm 10mm

X-Y-θ平臺(tái) XY范圍 *小步長(zhǎng) θ范圍 晶圓范圍

EP6標(biāo)準(zhǔn)平臺(tái) 155mm x 155mm 5μm 360° 6寸

主要特點(diǎn)：

1. 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、多功能；

2. 平臺(tái)配置可滿足DC、RF測(cè)量；

3. 獨(dú)特的模塊化設(shè)計(jì)可根據(jù)客戶的需要配置和升級(jí)；

4. 量程大、可配暗箱、CCD等配件；

擴(kuò)展功能：

1、射頻頭部；

2、探針卡端口；（出廠前配置）

3、光電屏蔽箱；

4、CCD視頻系統(tǒng)；

5、溫控模塊；（常溫-300℃可選）

6、EPS_FA可配置激光等。