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脈沖激光沉積設(shè)備—PLD-400品牌
致真精密產(chǎn)地
安徽樣本
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脈沖激光沉積設(shè)備是高校和科研院所常用的氧化物和多組分薄膜沉積設(shè)備，該設(shè)備具有簡單可靠、運行穩(wěn)定的特點。PLD-400型脈沖激光沉積設(shè)備，標配6個1inch靶材，靶材可以原位更換，配合RHEED和準分子激光器可以實現(xiàn)高質(zhì)量薄膜的沉積。
性能參數(shù)
晶圓尺寸 | 2inch |
極限真空 | 5×10-9mbar |
溫控 | RT-1200℃ |
| 靶臺數(shù)量 | 6個1inch 靶材或3個2inch靶材 靶臺公自轉(zhuǎn)設(shè)計（可單獨旋轉(zhuǎn)） |
| 靶材更換 | 原位更換靶材 |
| 激光源 | 準分子激光器 |
| 常用材料 | BFO、SRO、VO2等 |
| 占地面積 | 3m L*2m W*2m H |
| 可選 | 自動傳輸、反應(yīng)沉積、膜厚儀、工藝菜單、高壓RHEED等 |
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