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W-150A/B-6K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)品牌
鉑世光產(chǎn)地
上海樣本
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| 系統(tǒng)特點(diǎn)： |
| ·采用方位換向?qū)ΨQ方式微波耦合，來提高微波的均勻性 |
| ·穩(wěn)定沉積面積20cm2 |
| ·**功率達(dá)到6KW |
| ·使用純凈的石英窗 |
| ·采用不銹鋼反應(yīng)腔，能耐高溫 |
| ·高壓力控制，產(chǎn)生高密度單模式等離子體 |
| ·使用高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)，高可靠性穩(wěn)定的壓力控制系統(tǒng) |
| ·穩(wěn)定的微波輸入 |
| 應(yīng)用： |
| ·寶石 |
| ·復(fù)合熱沉片 |
| ·精密加工刀具刀頭 |
| ·紅外光學(xué)窗口 |
| ·量子傳感器/NV色心量子器件 |
| ·功率電子器件 |
| ·高增益激光器 |
| ·高純電化學(xué)電極 |
| ·納米金剛石材料 |
| ·第四代半導(dǎo)體材料 |
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