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光刻膠品牌
無(wú)錫中慧芯產(chǎn)地
江蘇樣本
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中慧芯提供多種類型及規(guī)格的光刻膠：
| 類型 | 光刻膠型號(hào) | 厚度/um | 分辨率 | 適用工藝 |
| AZ系列 | AZ5214,AZ4620,AZ6130等 | 1-30um | 1um | 可用于深硅刻蝕 |
| PI | LTC9000系列 | 4-50um | 4um | 用于非銅襯底工藝，固化溫度*低可以達(dá)到250C° |
| 電子束膠 | HSQ Fox-15/16 | 100nm | 350nm-810nm | 分辨率**的光刻膠，抗刻蝕 |
| Lift-off光刻膠 | LOR/PMGI-SF系列 | 50nm-6um | 高分辨率，雙層lift-off的底層膠 | |
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