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| 項目 | 機型 | 單位 | SDA50 | SDVA70 |
抽氣速率Pump speed（50/60HZ） | L/min | 700/833 | 1000/1200 | |
m3/h | 42/50 | 60/72 | ||
極限壓力 Ultimaate Pressure | Torr | 7.5*10-3 | ||
mbar | 1*10-2 | |||
Pa | 1 | |||
馬達 Motor | 額定功率 Rated power | Kw | 2.2 | 2.2 |
底壓功率 Ultimate Pressure Power | Kw | 1.9 | 1.9 | |
管路連接 Connnection | 入氣口 Inlet | DN40 | DN40 | |
出氣口 Outlet | DN25 | DN25 | ||
*低流量 Min.Flow | L/Min | |||
**壓力 Max.Pressure | kg/cm3 | |||
壓力差 Pressure Dif. | kg/cm3 | |||
溫度 Temp. | ℃ | |||
接頭 | ||||
氮氣（選配） N2 | 壓力 Pressure | Mpa | 0.05-0.2 | |
流量 Flow | slm | 6-10（sealing gas） | ||
0-50（Dilute） | ||||
接頭 Connection | Swagelok 1/4'' | |||
尺寸 | 長*寬*高 L*W*H | mm | ||
重量 Weight | Kg | |||
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