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等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD品牌
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等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD
ZYE-1200-PE
為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法（PECVD）。它是由500W射頻電源、1200℃單溫區(qū)管式爐、三通道質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)用于生長(zhǎng)納米線、石墨烯或SiC薄膜等
| 型號(hào) | ZYE-1200-PE |
| 工作溫度 | **溫度：1200℃（使用是必須通入惰性氣體以防爐管發(fā)生形變）工作溫度：1100℃推薦升溫速率：≤10℃/min |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 配置爐管尺寸 | Φ50（外）×1200mm（其他可定制） |
| 爐膛尺寸 | |
| 加熱區(qū) | 加熱長(zhǎng)度：220mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：60-80mm（±3℃） |
| 控制方式 | PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能，智能化30段可編程控制，具有超溫及段偶功能K型熱電偶，可安裝PC控制軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集（需另購(gòu)） |
| 密封系統(tǒng) | 不銹鋼密封法蘭（包括316L針閥、真空機(jī)械壓力表、軟管接頭） |
| 加熱元件 | 北京首鋼HRE |
| **功率 | 3kW |
| 供氣系統(tǒng) | 三路高精度MFC 量程0-500sccm（按客戶需求定） |
| 射頻電源 | 射頻功率：5-500W 射頻頻率：13.56MHz 匹配方式：自動(dòng)匹配 |
| 真空系統(tǒng) | 雙級(jí)旋片真空泵（可定制擴(kuò)散泵 分子泵等） |
| 額定電壓 | 單相AC220V 50/60Hz |
| 外形尺寸 | 1600*600*1200mm（長(zhǎng)*寬*高） |
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