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全自動(dòng)8吋減薄機(jī)品牌
江蘇元夫產(chǎn)地
江蘇樣本
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設(shè)備特點(diǎn)
采用兩個(gè)主軸，三個(gè)工作臺(tái)的全自動(dòng)研磨機(jī)，4/5/6/8吋晶圓加工可兼容
Si、SiC等研磨材料均能滿足
為實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)研磨加工，主機(jī)搭載高功率輸出、高剛性、低振動(dòng)空氣電主軸；工作臺(tái)主軸亦搭載高剛性、低振動(dòng)、低熱膨脹、回轉(zhuǎn)精度高的的空氣軸承
配置接觸式測(cè)厚模塊，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)系統(tǒng)控制
搭配自主研制的250mm磨輪，有效去除晶圓磨削應(yīng)力，減少表面損傷，保證芯片強(qiáng)度
暫無數(shù)據(jù)！
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