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SAB6210是一款親水性鍵合（Fusion Bonding）設(shè)備，通過等離子體處理、水洗甩干使晶圓表面富集-OH，在大氣或真空環(huán)境、室溫下進(jìn)行對準(zhǔn)、鍵合。

• 項目

  指標(biāo)

• 晶圓尺寸

  6、8、12 inch

• 適配材料

  SOI、POI

• 產(chǎn)能

  ≥14 pairs/h

• 上料模式

  Cassette、SMIF、Foup可選

• 對準(zhǔn)精度

  Mechanical alignment: ≤ ±50μm；Optical≤±0.5μm（Cavity bonding）

• 鍵合強(qiáng)度

  ≥2.0J/m2 (Si-SiO₂，退火后)

• 多模塊一體化集成

  尋邊、等離子體活化、清洗、（對準(zhǔn)）、鍵合、檢測、解鍵合

• 藥液清洗

  選配

• 微環(huán)境

  FFU控制，可達(dá)ISO Class1