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技術(shù)參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 數(shù)據(jù) |
| 設(shè)備型號(hào) | M82 730 6K |
| 操作系統(tǒng) | SXG-MPCVD控制系統(tǒng) |
| 微波頻率 | 2450MHz,輸出功率:6KW |
| 反應(yīng)腔 | 承載功率≦10KW |
| 生長(zhǎng)臺(tái) | Φ2英寸 |
| 工作壓力 | 10-200Torr |
| 標(biāo)準(zhǔn)氣路 | 5路/6路(可定制) |
| 測(cè)溫系統(tǒng) | 紅外測(cè)溫,測(cè)溫范圍300~1400℃ |
| 系統(tǒng)真空密封性(氦質(zhì)譜撿漏) | <1×10-9 Torr.l/sec |
| 真空泵 | 17.1 m3/H |
| 設(shè)備尺寸 | 主機(jī):1500MM(長(zhǎng))*700MM(深)*1880MM(高) 電控柜:545MM(長(zhǎng))*765MM(深)*1740MM(高) |
| 設(shè)備重量 | 主機(jī):375KG;電控柜:185KG |
公司位于上海青浦區(qū),具備一流的潔凈生產(chǎn)車間和生產(chǎn)測(cè)試設(shè)備。我們有深厚的技術(shù)積累,核心團(tuán)隊(duì)由德國(guó)歸國(guó)博士主導(dǎo),研發(fā)團(tuán)隊(duì)由業(yè)內(nèi)尖端技術(shù)人員組成,與國(guó)內(nèi)外多所大學(xué)及研發(fā)機(jī)構(gòu)建立了長(zhǎng)期戰(zhàn)略合作關(guān)系;我公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)與德國(guó)FM集團(tuán)聯(lián)合攻關(guān),以項(xiàng)目分工合作方式,在微波輸出功率不同(6KW及10KW)的情景下,以高科技的數(shù)字化手段模擬微波場(chǎng)的不同分布,實(shí)現(xiàn)定制適配器與真空腔體**結(jié)構(gòu)的**結(jié)合,使得我們的新一代MPCVD設(shè)備性能更加優(yōu)異;經(jīng)過(guò)持續(xù)的技術(shù)研發(fā),我們已在MPCVD行業(yè)技術(shù)領(lǐng)域具備一定知名度。我們立志**國(guó)內(nèi)MPCVD行業(yè),為所有合作方提供全方位的智能解決方案,并提供全面、專業(yè)的售后服務(wù)支持。
公司堅(jiān)持“設(shè)備+工藝”的雙優(yōu)發(fā)展方針,以設(shè)備優(yōu)化工藝,以工藝反驅(qū)設(shè)備,形成產(chǎn)業(yè)鏈的閉環(huán)發(fā)展和雙向優(yōu)化。
目前已研發(fā)出微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng),用于生產(chǎn)高等級(jí)和高純凈度的單晶合成金剛石;產(chǎn)品應(yīng)用行業(yè)還可以跨越航空航天、半導(dǎo)體器件、光學(xué)、散熱器件、量子計(jì)算機(jī)、珠寶首飾等各個(gè)領(lǐng)域;我公司同時(shí)也從事微波等離子體技術(shù)的應(yīng)用和開(kāi)發(fā),并致力于微波等離子體技術(shù)的成果轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化。
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