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SPP800S品牌
產(chǎn)地
日本樣本
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SPP800S 是半自動通用拋光型設(shè)備，不僅可以處理氧化層和金屬膜，而且可以去除晶圓表面損傷層。該機(jī)型裝備有兩個拋光頭和一個定盤修正頭，可實(shí)現(xiàn)高的吞吐量。它具有獨(dú)特的軟件和觸摸屏，使用操作方便。
產(chǎn)品特點(diǎn)
SPP800S 是半自動通用拋光型設(shè)備，不僅可以處理氧化層和金屬膜，而且可以去除晶圓表面損傷層。該機(jī)型裝備有兩個拋光頭和一個定盤修正頭，可實(shí)現(xiàn)高的吞吐量。它具有獨(dú)特的軟件和觸摸屏，使用操作方便。
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