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| 性能型號(hào) | JXS-ZSV-1010 | JXS-ZSV-1215 | JXS-ZSV-1416 | JXS-ZSV-1618 | JXS-ZSV-1820 | |
| 鍍膜室尺寸 | Ф1000×H1000mm | Ф1200×H1500mm | Ф1400×H1600mm | Ф1600×H1800mm | Ф1800×H2000mm | |
| 用于行業(yè) | 包裝材料、鐘表行業(yè)、3C行業(yè)等 | |||||
| 用于產(chǎn)品 | 化妝品、鏡子、車燈、小商品等 | |||||
| 鍍膜效果 | 紅色、藍(lán)色、紫色、綠色、玫瑰色、咖啡色、七彩等 | |||||
| 真空室結(jié)構(gòu) | 立式前開門結(jié)構(gòu)配置抽氣系統(tǒng)及水冷系統(tǒng) | |||||
| 真空獲得系統(tǒng) | 擴(kuò)散泵 | ≥16000（L/s） | ≥26000（L/s） | ≥26000（L/s） | ≥36000（L/s） | ≥42000（L/s） |
| 羅茨泵 | ≥300（L/s） | ≥1200（L/s） | ≥1200（L/s） | ≥1200（L/s） | ≥1200（L/s） | |
| 機(jī)械泵 | ≥140（L/s） | ≥140（L/s） | ≥140（L/s） | ≥210（L/s） | ≥210（L/s） | |
| 維持泵 | ≥30（L/s） | ≥30（L/s） | ≥30（L/s） | ≥30（L/s） | ≥30（L/s） | |
| 備注 | 可根據(jù)客戶的要求進(jìn)行配置 | |||||
| 真空測(cè)量系統(tǒng) | 薄膜規(guī)(MKS)、冷陰極(MKS)、皮拉尼(MKS) | |||||
| 電源類型 | 直流電源、中頻電源、脈沖電源 | |||||
| 極限真空指標(biāo) | 空載冷態(tài) 1.0一 6.0×10-4Pa | |||||
| 蒸發(fā)電源 | ≥1臺(tái) | ≥1臺(tái) | ≥1臺(tái) | ≥1臺(tái) | ≥1臺(tái) | |
| ≥25KW | ≥25KW | ≥30KW | ≥35KW | ≥40KW | ||
| 離子轟擊 | ≥5KW | ≥5KW | ≥5KW | ≥10KW | ≥10KW | |
| 深冷裝置系統(tǒng) | ≥12P | ≥12P | ≥12P | ≥12P | ≥12P | |
| 工件轉(zhuǎn)動(dòng)方式 | 多軸行星式公自轉(zhuǎn)、變頻調(diào)速（可控可調(diào)） | |||||
| 冷卻方式 | 水冷卻循環(huán)方式，另配工業(yè)冷卻水塔或工業(yè)冷水機(jī)（制冷機(jī))或深冷系統(tǒng)。（客戶提供） | |||||
| 控制方式 | PLC+觸摸屏操作或計(jì)算機(jī)控制，手動(dòng)、半自動(dòng)、自動(dòng)方式、 | |||||
| 供給指標(biāo) | 氣壓0.5-0.8MPa、水溫≤25℃、水壓≥0.2MPa、 | |||||
| 報(bào)警及保護(hù) | 對(duì)泵和靶等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警，并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施及電氣聯(lián)鎖功能。 | |||||
| 整機(jī)總功率 | ≤65KW | ≤65KW | ≤65KW | ≤65KW | ≤65KW | |
| 輸出頻率 | 電壓380V±5% ，頻率50Hz（可根據(jù)客戶國(guó)家用電標(biāo)準(zhǔn)配置） | |||||
| 設(shè)備占地面積 | ≤55m2 | ≤55m2 | ≤55m2 | ≤55m2 | ≤55m2 | |
| 備注 | 可根據(jù)用戶要求設(shè)計(jì)制造非標(biāo)設(shè)備，可加裝磁控濺射靶、中頻孿生對(duì)靶等。 | |||||
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