中國(guó)粉體網(wǎng)訊 碳化硅功率器件的制造流程極其復(fù)雜,通常包含上百道工序,可簡(jiǎn)單分為單晶碳化硅晶圓片的制造、前端工藝和后端工藝三個(gè)步驟。其中,單晶碳化硅晶圓片的制造主要包括晶錠拉伸、晶錠切片等工藝流程,目標(biāo)獲得一定厚度的高質(zhì)量碳化[更多]
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