推薦碳化硅晶圓片劃片切割方法

中國粉體網(wǎng)訊 碳化硅功率器件的制造流程極其復(fù)雜，通常包含上百道工序，可簡單分為單晶碳化硅晶圓片的制造、前端工藝和后端工藝三個步驟。其中，單晶碳化硅晶圓片的制造主要包括晶錠拉伸、晶錠切片等工藝流程，目標(biāo)獲得一定厚度的高質(zhì)量碳化[更多]