中國(guó)粉體網(wǎng)訊  2025年4月16日，由中國(guó)粉體網(wǎng)主辦的“2025第二屆高端研磨拋光材料技術(shù)大會(huì)”在河南鄭州成功舉辦！大會(huì)期間，中國(guó)粉體網(wǎng)邀請(qǐng)到多位業(yè)內(nèi)專家學(xué)者做客“對(duì)話”欄目，就高端研磨拋光材料與技術(shù)、研磨拋光裝備及應(yīng)用、行業(yè)未來發(fā)展等方面進(jìn)行了訪談交流。本期為您分享的是華僑大學(xué)教授陸靜的專訪。

華僑大學(xué)教授陸靜

粉體網(wǎng)：陸教授，請(qǐng)問相比于單晶金剛石，多晶金剛石存在哪些優(yōu)勢(shì)？

陸教授：多晶金剛石相較于單晶金剛石，其合成工藝更為成熟。目前單晶金剛石的制備尺寸達(dá)到4英寸仍存在技術(shù)難度，而多晶金剛石6英寸、8英寸的制備技術(shù)已相對(duì)完善。

粉體網(wǎng)：多晶金剛石因高硬度和復(fù)雜表面結(jié)構(gòu)導(dǎo)致加工困難，您在開發(fā)該技術(shù)過程中遇到的最大技術(shù)瓶頸是什么？

陸教授：多晶金剛石的主要技術(shù)挑戰(zhàn)在于其晶粒粗大和應(yīng)力導(dǎo)致的翹曲問題。我們?cè)诩夹g(shù)研發(fā)過程中遇到的最大困難是晶圓碎片問題，目前采用預(yù)處理結(jié)合反應(yīng)磨拋的方式來實(shí)現(xiàn)高效高質(zhì)加工。

粉體網(wǎng)：陸教授，與傳統(tǒng)磨拋技術(shù)相比，您的新技術(shù)在表面粗糙度、加工效率及成本控制方面有哪些顯著優(yōu)勢(shì)？

陸教授：鑒于多晶金剛石尺寸較大且加工難度高，傳統(tǒng)加工方式如鑄鐵盤研磨結(jié)合砂漿拋光需要數(shù)天時(shí)間。采用激光處理或氧化物輔助反應(yīng)預(yù)處理后，再配合磨削加工，可將加工周期縮短至約兩天，同時(shí)顯著降低碎片率。此外，結(jié)合光催化技術(shù)，可將表面粗糙度控制在0.2nm以下。

粉體網(wǎng)：您本次提出的多晶金剛石晶圓磨拋加工新技術(shù)，能否應(yīng)用到其他的硬脆材料中？

陸教授：這項(xiàng)技術(shù)具有一定的通用性。對(duì)于表面粗糙度較高且存在翹曲問題的材料，如碳化硅等硬脆材料，均可參考采用預(yù)處理結(jié)合反應(yīng)磨拋的技術(shù)路線，但需要綜合考慮性價(jià)比因素。

粉體網(wǎng)：陸教授，就多晶金剛石晶圓的超精密加工來看，目前相關(guān)技術(shù)的推廣存在哪些問題？對(duì)此您有什么建議？

陸教授：目前多晶金剛石晶圓的生長(zhǎng)和制備工藝尚未完全成熟，不同生產(chǎn)廠家的晶圓品質(zhì)存在差異，需要針對(duì)性地調(diào)整工藝參數(shù)。此外，預(yù)處理成本及新型磨拋盤的研發(fā)成本較高，期待規(guī)模化生產(chǎn)后成本能夠進(jìn)一步優(yōu)化。

（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/山林）

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