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產(chǎn)品簡介
一、設(shè)備組成
這是一款組合管式CVD設(shè)備。該設(shè)備主要由多路供氣系統(tǒng)、三溫區(qū)加熱爐、低真空系統(tǒng)、以及智能控壓組件組成。
1、開啟式加熱爐：
三溫區(qū)加熱爐使用輕質(zhì)氧化鋁纖維材質(zhì)，K型熱電偶測溫搭配優(yōu)質(zhì)電阻絲為加熱原件，內(nèi)部溫場均勻。
2、多路供氣系統(tǒng)
質(zhì)量流量計可按照程序設(shè)定，對多路氣體進行單獨或者混合。操作方便，控制精確。
3、智能控壓組件
通過真空計實時監(jiān)測管內(nèi)壓力，PLC根據(jù)設(shè)定壓力大小調(diào)節(jié)閥開啟大小，以控制管內(nèi)壓力穩(wěn)定。
4、低真空系統(tǒng)
配備進口機械泵，進口真空計，質(zhì)量可靠。
二、技術(shù)參數(shù)
**溫度 | 1200℃ |
持續(xù)工作溫度 | ≤1100℃ |
升溫速率 | ≤10℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
加熱元件 | 電阻絲 |
熱電偶 | K型 |
控溫方式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，人工智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 |
加熱總功率 | ≤8KW |
加熱區(qū)尺寸 | 300+300+300mm |
設(shè)備主體尺寸（長*寬*高） | 2000*700*1300mm |
設(shè)備重量 | 約150KG |
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