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籽晶粘接設(shè)備
籽晶粘接設(shè)備

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型號

籽晶粘接設(shè)備

品牌

山東力冠

產(chǎn)地

山東

樣本

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image.png晶圓尺寸:6/8英寸

Nafer size: 6/8 inches ウェハーサイズ:6インチ~8インチ

溫度范圍:溫度200-800℃,溫度均勻性±3℃

Temperature 200-800 °C, temperature uniformity±3 °C

溫度範囲:溫度200-800°C、許容溫度範囲±2℃

壓力:**20000N,力均勻性<±1%

Pressure Maximum 20,000 N,Force Uniformity<±1%

圧力:**20000N、力の均等性<±1%

真空度:≤10Pa

Vacuum pressure:≤10Pa  真空度:≤10Pa

壓頭:柔性壓頭/硬性壓頭

Indenter: Flexible indenter/rigid indenter

圧子:軟性圧子/硬性圧子


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