誤差率：
-分辨率：
100nm重現(xiàn)性：
-分散方式：
-測(cè)量時(shí)間：
可在數(shù)秒內(nèi)完成 4 至 12 英寸掩膜版｜保護(hù)膜成像測(cè)量范圍：
夠檢測(cè) ≥ 0.1μm 聚苯乙烯乳膠（PSL）等效顆粒（經(jīng) NIST 認(rèn)證）看了掩膜版｜保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS）的用戶又看了
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Fastmicro 掩膜版｜保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS）
為掩膜版、掩膜版保護(hù)膜以及基板（襯底）制造工藝，提供高通量的表面顆粒污染檢測(cè)服務(wù)。
該系統(tǒng)對(duì)粒徑大于 0.1μm 的顆粒具有高靈敏度，是一種高效且提供全方位服務(wù)的選擇。它能以手動(dòng)或自動(dòng)的操作方式，以及較低的維護(hù)成本，取代傳統(tǒng)的顆粒檢測(cè)系統(tǒng)。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
高通量檢測(cè)：每小時(shí)可檢測(cè) 400 片晶圓（WPH）
數(shù)據(jù)輸出：根據(jù) ISO 14644-9 標(biāo)準(zhǔn)，在用戶界面和 PDF 報(bào)告輸出 SCP 等級(jí)
正反兩面檢測(cè)：?jiǎn)未螠y(cè)量中完成正反兩面檢測(cè)（無(wú)需翻轉(zhuǎn)）
檢測(cè)范圍：能夠檢測(cè) ≥ 0.1μm 聚苯乙烯乳膠（PSL）等效顆粒（經(jīng) NIST 認(rèn)證）
生產(chǎn)過(guò)程中的一致性測(cè)量
快速: 能在數(shù)秒內(nèi)完成大面積成像
定量: 適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境中的質(zhì)量鑒定與監(jiān)測(cè)
操作簡(jiǎn)便: 不受操作人員影響，自動(dòng)化，潔凈抓取方式
精準(zhǔn): 高分辨率測(cè)量（數(shù)量、位置、尺寸）
一致性: 每次測(cè)量都保持客觀、穩(wěn)定
高通量: 能在工藝時(shí)間窗口內(nèi)得出結(jié)果
FM-PDS: 直接檢測(cè)表面顆粒
該系統(tǒng)可為晶圓制造工藝、下一代化合物半導(dǎo)體以及先進(jìn)封裝應(yīng) 用，提供高通量的表面顆粒污染檢測(cè)服務(wù)。
該系統(tǒng)對(duì)粒徑大于 0.1μm 的顆粒具有高靈敏度，是一種高 效且提供全方位服務(wù)的選擇。
它能以手動(dòng)或自動(dòng)的操作方式，以及 較低的維護(hù)成本，取代傳統(tǒng)的顆粒檢測(cè)系統(tǒng)。
對(duì)于下一代半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用， PDS 系統(tǒng)具備獨(dú)特的屬性：雙面同 時(shí)掃描（選配）；
靜態(tài)視場(chǎng)掃描（在圖像采集過(guò)程中無(wú)需移動(dòng)產(chǎn)品）。
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
今年 11 月 2 日起，每日早七點(diǎn)至晚八點(diǎn)，包括延安高架、南北高架在內(nèi)的多條道路禁止“外牌”、“臨牌”小客車、未載客的出租車等通行。因?yàn)樾履茉雌囓嚺戚^容易獲得，不少人轉(zhuǎn)投新能源汽車，因此帶動(dòng)了新能
2020-12-21
隨著鋼鐵行業(yè)進(jìn)入微利時(shí)代，生產(chǎn)具有更高附加值的高品質(zhì)潔凈鋼也成為鋼鐵企業(yè)自身發(fā)展的需求。因此，潔凈鋼技術(shù)研究及其生產(chǎn)工藝控制技術(shù)目前已是各鋼鐵企業(yè)的重要課題。生產(chǎn)潔凈鋼的關(guān)鍵在于減少鋼中的雜質(zhì)，而控制
2020-12-21
2020-12-21
在科技飛速發(fā)展的今天，氣體傳感器的開發(fā)對(duì)于環(huán)境監(jiān)測(cè)、工業(yè)安全以及健康醫(yī)療等領(lǐng)域具有至關(guān)重要的意義。近期，VSParticle與Materials Center Leoben Forschung Gmb
近日，由復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司攜手西南大學(xué)分測(cè)中心共同舉辦的《顯微分析與制樣技術(shù)交流會(huì)暨飛納電鏡免費(fèi)測(cè)樣周活動(dòng)》順利落下帷幕。西南大學(xué)分析測(cè)試中心（簡(jiǎn)稱：中心）成立于 2018 年 9 月，是面
近期，中化國(guó)際子公司 -- 上海中化科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中化”）成功引入了飛納臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射掃描透射電鏡 Pharos STEM，并順利完成裝機(jī)驗(yàn)收和操作。該設(shè)備的投入使用，有助于企業(yè)對(duì)于塑料制品的缺
用戶案例｜讀懂火山噴發(fā)前的“化學(xué)倒計(jì)時(shí)”，Neoscan 顯微CT助力巖漿同化機(jī)制研究！在地質(zhì)研究中，“時(shí)間”是一項(xiàng)最難精確捕捉的變量。尤其是在火山噴發(fā)這樣的突發(fā)性地質(zhì)事件中，巖漿從深部穿越地殼、與圍
半導(dǎo)體是現(xiàn)代電子產(chǎn)品的基礎(chǔ)，支撐著從計(jì)算到數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的一切功能。隨著器件尺寸縮小且結(jié)構(gòu)日益復(fù)雜，精準(zhǔn)的失效分析變得至關(guān)重要。AFM-in-SEM 失效分析：該技術(shù)直接集成于 FIB / SEM（聚焦離子
Nature Nanotechnology ｜ 原子層沉積賦能無(wú)鈷 LiNiO? 正極材料，引領(lǐng)全固態(tài)鋰電池性能革新！ 發(fā)表文章：High-energy all-solid-st
掩膜版｜保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS）的工作原理介紹？掩膜版｜保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS）的使用方法？掩膜版｜保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS）多少錢一臺(tái)？掩膜版｜保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS）使用的注意事項(xiàng)掩膜版｜保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS）的說(shuō)明書有嗎？掩膜版｜保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS）的操作規(guī)程有嗎？掩膜版｜保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS）的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎？掩膜版｜保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS）有現(xiàn)貨嗎？掩膜版｜保護(hù)膜表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS）包安裝嗎？
移動(dòng)端
工商已核實(shí)
