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產(chǎn)品摘要

VCD真空閃蒸儀一款一鍵式操作的桌面型設(shè)備，設(shè)備整體放置于手套箱內(nèi)，腔體內(nèi)部設(shè)有獨特氣氣流導(dǎo)向結(jié)構(gòu)與樣品支撐，可實現(xiàn)快速抽真空，有利于有機溶劑快速揮發(fā)，輔助成膜結(jié)晶，對各種基板涂敷材料進行快速真空干燥、溶劑揮發(fā)，具有穩(wěn)定性高、均勻性好、操作便利等優(yōu)點。

產(chǎn)品介紹

設(shè)備特點：

★真空測量采用數(shù)字式全量程真空規(guī)管。控制系統(tǒng)采用觸摸屏設(shè)置參數(shù)，一鍵式操作。

★內(nèi)部樣品托盤采用可拆卸式，配備吸氣環(huán)方便玻璃基片放置；在放置柔性基片和硅片時可采用吸氣板式托盤。

★腔體頂部設(shè)置DN100視窗，便于觀察樣品處理過程。

設(shè)備參數(shù)：

★樣品尺寸：210mm×210mm/300mm×300mm

600mm×600mm/600×1200mm **厚度30mm

★極限真空：0.1Pa

★抽空時間：10秒至5Pa