推薦破解大尺寸氮化鋁加工瓶頸：化學(xué)機(jī)械拋光在晶圓表面超精密加工的創(chuàng)新實(shí)踐

中國粉體網(wǎng)訊 近年來，以氮化鋁、氧化鎵、金剛石等為代表的第四代超寬禁帶半導(dǎo)體材料逐漸興起，它們具有超寬禁帶、高電壓擊穿場(chǎng)、高熱導(dǎo)率、低熱膨脹系數(shù)以及耐高溫、抗輻射等特性，在紫外探測(cè)、芯片制造、高頻大功率電子器件等領(lǐng)域內(nèi)顯示出[更多]