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推薦鍵合技術:SiC襯底降本新技術!

中國粉體網(wǎng)訊 SiC是目前最具潛力的第三代半導體,但因其生產(chǎn)難度大、良率低,生產(chǎn)過程中會形成大量廢片,導致SiC普及率相對較低。而直接鍵合技術可以通過鍵合將SiC的良片與廢片鍵合形成復合SiC襯底,顯著提升SiC襯底片的可用[更多]

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