中國粉體網(wǎng)訊 王曦，材料科學(xué)家，博士，中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所研究員，2009年當選為中國科學(xué)院院士。1966年8月生于上海，籍貫江蘇南通。1987年畢業(yè)于清華大學(xué)工程物理系，1990年、1993年先后獲中國科學(xué)院上海冶金研究所（現(xiàn)上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所）碩士、博士學(xué)位。
絕緣體上硅（SOI）技術(shù)被稱為“二十一世紀的硅集成電路技術(shù)”，王曦1987年從清華大學(xué)工程物理系畢業(yè)后，一直從事相關(guān)研究，可謂三十年磨一劍。說到這一技術(shù)，王曦打了個比方：“這就像是三明治，在兩層硅的中間，包裹著一層二氧化硅�！弊钌厦娴墓杓纫�，還要均勻。
SOI技術(shù)的精度要求堪稱極致,12英寸硅片的均勻度，相當于從巴黎到上海的飛行距離中，振動幅度不能超過1.5厘米。正是這樣嚴苛的標準，讓SOI晶圓片成為解決航天電子器件難題的關(guān)鍵。空間輻射曾是衛(wèi)星"大腦"的致命威脅，如同潛伏的"腦血栓"，而王曦團隊研發(fā)的國際一流SOI晶圓片，為衛(wèi)星裝上了"防護盾"。2016年2月，搭載該技術(shù)芯片的新一代北斗導(dǎo)航衛(wèi)星成功發(fā)射，標志著我國在航天電子材料領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破。
突破12英寸大硅片瓶頸，前瞻布局多項芯片前沿技術(shù)
在2017年以前，我國集成電路產(chǎn)業(yè)長期受困于大尺寸硅片依賴進口的瓶頸，每年集成電路進口花費超2000億美元，遠超原油進口額，而每月消耗的幾十萬塊硅片中，自主供給僅占少數(shù)，尤其是12英寸大硅片。
2013年，王曦與中芯國際創(chuàng)始人張汝京博士共同建言，推動上海啟動12英寸大硅片研發(fā)。2014年6月，上海新昇科技有限公司成立，僅用一年多就完成廠房建設(shè)與設(shè)備安裝。2016年，國內(nèi)第一根12英寸高質(zhì)量晶棒在這里誕生，2017年下半年，大硅片實現(xiàn)量產(chǎn)，年銷量近10萬片，為我國擺脫大尺寸硅片進口依賴邁出關(guān)鍵一步。
在前沿技術(shù)布局上，王曦的眼光總能穿透暫時的迷霧。2008年，當多數(shù)人對硅光子技術(shù)持觀望態(tài)度時，他力排眾議堅定投入，如今該平臺已成為國際上第三個專用硅光子工藝平臺，在光通訊、無人駕駛等領(lǐng)域展現(xiàn)巨大潛力。針對物聯(lián)網(wǎng)傳感器薄弱環(huán)節(jié)，他推動成立專注傳感器芯片的矽睿公司；為破解成果轉(zhuǎn)化"中試死結(jié)"，國內(nèi)首條全球領(lǐng)先的8英寸"超越摩爾"研發(fā)中試線應(yīng)運而生；面對存儲器漲價風波，他又前瞻性布局下一代磁存儲器芯片技術(shù)。
王曦院士手捧著8英寸硅片 來源:清華大學(xué)工程物理系
深耕科技成果產(chǎn)業(yè)化，走出科研轉(zhuǎn)化特色路
“我不算瘋狂科學(xué)家，相比基礎(chǔ)研究，我更擅長產(chǎn)業(yè)化�！蓖蹶氐倪@句話，道出了他與眾不同的科研路徑。在他看來，實驗室的成果只有扎根產(chǎn)業(yè)土壤，才能真正實現(xiàn)價值。
上海微技術(shù)工業(yè)研究院的創(chuàng)建過程，正是這種理念的生動實踐。當初，團隊在是否采用企業(yè)化運作模式上陷入糾結(jié)，事業(yè)單位模式能輕松解決經(jīng)費問題，而企業(yè)化路徑充滿未知。王曦卻說，“要跨越科技成果轉(zhuǎn)化的死亡之谷，必須走新路徑�！比缃�，這個研究院已建成產(chǎn)業(yè)加速生態(tài)鏈，成為上海全球科創(chuàng)中心首個啟動的研發(fā)與轉(zhuǎn)化功能型平臺，85%的收入來自產(chǎn)業(yè)化，其模式已在全國推廣。
來源:上海微技術(shù)工業(yè)研究院官網(wǎng)
二十年來，王曦帶領(lǐng)團隊創(chuàng)造了一個又一個產(chǎn)業(yè)化奇跡。2001年，他帶著6位博士用1300萬元起家創(chuàng)辦新傲公司，如今其市值已達13億元，增長百倍；2014年全球硅片產(chǎn)業(yè)陷入低谷，他為新昇融資四處奔走，如今該公司月產(chǎn)數(shù)萬片300mm硅片；2020年，他又力邀美國MEMC電子材料公司前首席執(zhí)行官Nabeel Gareeb加盟上海硅產(chǎn)業(yè)投資有限公司，彰顯其全球視野與魄力。
從“過門不入到董事席”，見證中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)崛起之路
王曦感慨道：”中國的蓬勃發(fā)展，成就了我們的傳奇。”當年，為了推銷SOI晶圓片，他帶著團隊找到法國Soitec公司，卻連大門都進不去，只能在公司門口合影留念，如今，他已端坐于該公司的董事席。這種身份的轉(zhuǎn)變，折射出中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的崛起之路。
王曦說：“以前是無知無畏，現(xiàn)在雖有困難，但看到了方向，更有激情。”過往的成就早已被他歸零，新的征途正在腳下延伸。這位始終保持激情的探索者，正以歸零的心態(tài)，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的星辰大海中，繼續(xù)書寫屬于中國的創(chuàng)新傳奇。
參考來源:
科學(xué)時報《青年人才成長故事系列報道之一：王曦》
清華大學(xué)工程物理系、上海微技術(shù)工業(yè)研究院官網(wǎng)
(中國粉體網(wǎng)編輯整理/月明)
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