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鈣鈦礦光伏行業(yè)原子層沉積系統(tǒng)品牌
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TALD數(shù)字系列及Batch系列原子層沉積系統(tǒng)是科民電子專門為鈣鈦礦傳輸層和Al2O3工藝開發(fā)的薄膜沉積系統(tǒng)。系統(tǒng)充分考慮鈣鈦礦功能層基片不耐溫、尺寸大的特點，從2019年起作為獨立的產(chǎn)品系列開始研發(fā)，經(jīng)過多輪優(yōu)化后擁有了高產(chǎn)品質(zhì)量、高性價比的優(yōu)點，交付數(shù)量已接近100臺。
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