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DektakXT探針式輪廓儀
DektakXT?探針式輪廓儀采用革命性的臺式設(shè)計，可實現(xiàn)4? （0.4nm） 的****的重復(fù)性，掃描速度可提高40%。探針式輪廓儀性能的這一重大里程碑是Dektak? 五十多年創(chuàng)新和行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)地位的頂峰。DektakXT 結(jié)合了行業(yè)**的技術(shù)和設(shè)計，可提供**的性能、易用性以及價值，實現(xiàn)從研發(fā)到質(zhì)量控制的更好過程監(jiān)控。DektakXT 的技術(shù)突破為微電子、半導(dǎo)體、太陽能、高亮度LED、醫(yī)療和材料科學(xué)行業(yè)的關(guān)鍵尺寸的納米級表面測量提供支持。

加速數(shù)據(jù)收集和分析
DektakXT 利用獨特的直接驅(qū)動掃描樣品臺，將測量時間加快40%，同時保持行業(yè)**的性能。Vision64 是布魯克的64 位并行處理操作和分析軟件，能夠更快地加載3D 形貌文件，并更快地應(yīng)用篩選器和多區(qū)域數(shù)據(jù)庫分析。

提供**重復(fù)性的測量
單拱門結(jié)構(gòu)設(shè)計使DektakXT 更堅固，從而將環(huán)境噪音的影響降至*低。DektakXT 升級的"智能電子設(shè)備"可降低溫度變化的影響，并采用現(xiàn)代處理器，**限度地減少噪聲水平，使其成為能夠測量<10nm 臺階高度的更強(qiáng)大的系統(tǒng)。

全面的操作與分析
布魯克的Vision64 軟件通過提供*直觀、*簡化的用戶可視化界面，加入到DektakXT 的創(chuàng)新設(shè)計。智能架構(gòu)和可自定義自動化功能相結(jié)合，可實現(xiàn)快速、全面的數(shù)據(jù)收集和分析。無論您是使用分析腳本對單個掃描結(jié)果進(jìn)行分析，還是應(yīng)用自定義篩選器設(shè)置和計算，DektakXT 的數(shù)據(jù)分析器都能顯示當(dāng)前分析結(jié)果，同時顯示其他可能的分析工具。

讓事情變得簡單
DektakXT 的自對齊探針組件允許用戶快速輕松地更換不同探針，同時消除換針中的任何潛在風(fēng)險。布魯克提供*廣泛的探針尺寸和形狀，幾乎滿足任何應(yīng)用需求。

確保高通量測試
DektakXT 能夠快速輕松地設(shè)置和運(yùn)行自動化的多樣品測量模式，以****的可重復(fù)性驗證整個晶圓表面薄膜的精確厚度。這種有效的監(jiān)控可以通過提高測試通量來節(jié)省寶貴的時間和**。