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F50 系列
 
自動(dòng)化薄膜測(cè)繪
Filmetrics F50 系列的產(chǎn)品能以每秒測(cè)繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測(cè)繪薄膜厚度。一個(gè)電動(dòng)R-Theta 平臺(tái)可接受標(biāo)準(zhǔn)和客制化夾盤，樣品直徑可達(dá)450毫米。(耐用的平臺(tái)在我們的量產(chǎn)系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬次的量測(cè)!)

測(cè)繪圖案可以是極座標(biāo)、矩形或線性的，您也可以創(chuàng)造自己的測(cè)繪方法，并且不受測(cè)量點(diǎn)數(shù)量的限制。內(nèi)建數(shù)十種預(yù)定義的測(cè)繪圖案。

不同的F50 儀器是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的。標(biāo)準(zhǔn)的F50是****的產(chǎn)品。一般較短的波長(例如， F50-UV) 可用于測(cè)量較薄的薄膜，而較長的波長則可以用來測(cè)量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

包含的內(nèi)容：
集成光譜儀/光源裝置
光纖電纜
4", 6" and 200mm 參考晶圓
TS-SiO2-4-7200
BK7 參考材料
整平濾波器(用于高反射基板)
真空泵

備用燈

型號(hào)規(guī)格