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項(xiàng)目 | 參數(shù) |
晶圓尺寸 | 2“-8” |
壓力 | **10~250KN |
加熱溫度 | 頂部/底部**600°C |
升溫/冷卻速度 | 10-30°C/min |
控制系統(tǒng) | PLC，PC |
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