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巨量轉移晶圓植球機品牌
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項目 | 參數(shù) |
外形尺寸 | 1500*1500*1750mm |
錫球直徑 | Φ50um-Φ1800um |
植球速度 | 160K |
重復定位精度 | ±10um |
氣源 | 壓縮空氣≥0.4MPa |
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