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ION WAVE 10 批次等離子系統(tǒng)

與射頻等離子體相比，微波會產(chǎn)生更高密度的等離子體（離子/基團）和更低的基板感應(yīng)偏壓。由于這一事實，預(yù)計微波等離子體中光刻膠的灰化率更高，等離子體損傷更低。IoN Wave 10 等離子系統(tǒng)專為研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)應(yīng)用而設(shè)計。PVA TePla 是一種經(jīng)過驗證且值得信賴的全球資源，可提供高質(zhì)量、可靠、經(jīng)濟高效且易于操作的氣體等離子系統(tǒng)。它為各種應(yīng)用提供了一些***和創(chuàng)新的解決方案。

典型應(yīng)用

光刻膠灰化和除渣

在較低溫度下去除SU-8

鈍化層蝕刻

設(shè)備解封

表面清潔

表面活化

功能包括：

小腳印桌面設(shè)計

即插即用自安裝

帶液晶觸摸屏和鍵盤的工業(yè)計算機。基于Windows 的操作系統(tǒng)

圖形用戶界面(GUI) 軟件符合CFR Title 21 Part 11 和Semi E95-1101

多級用戶訪問

軟件用于快速和多功能步驟控制的配方編輯器

板載診斷功能和報警記錄

通過以太網(wǎng)進行遠程過程監(jiān)控

基于網(wǎng)絡(luò)的在線模擬/培訓/支持